日本HORIBA緊湊型質(zhì)量流量計(jì)控制器

日本HORIBA緊湊型質(zhì)量流量計(jì)控制器

D700T是專(zhuān)為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的性能最佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊。D700T采用HORIBACRITERION基于壓力的流量測(cè)量和控制技術(shù)，提供業(yè)界的可重復(fù)和準(zhǔn)確的性能。此外，D700T在于采用雙閥結(jié)構(gòu)高級(jí)流量控制算法，使客戶(hù)的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多個(gè)挑戰(zhàn)。

全局快速沉降時(shí)間<100ms(一組一組，升壓和降壓)

入口和出口壓力不敏感性能

先進(jìn)的故障檢測(cè)，診斷壓力傳感器移位、閥座泄漏和流量精度變化

士0.8百分比(華氏涅度10-100百分比)

士0.08%華氏度(0.2-10%6華氏度的)

士0.05%S.P./C(10-100華氏度)士0.005%華氏度/C(0.2-10華氏度))

士0.5%蘇格蘭元/年

士0.15%S.P.(10-100%F.S.)

士0.015%6華氏度(0.2-10%華氏度)

<100亳秒(1-100華氏度)

<500亳秒(0.2-1華氏度)

士1%標(biāo)準(zhǔn)差(10-100%6華氏度)士01%標(biāo)準(zhǔn)差(0.2-10華氏度))

≤0.02%F.S.或0.015 SCCM(N，)，以較大者為準(zhǔn)

D717T

工藝氣體(不可配置)

不可配置

M:240-450kPa(A)(不可配置)

>240千帕(D)

<53.3千帕(A)

0.5-100華氏度

士0.8百分比(華氏涅度20-100百分比)

士0.16%華氏度(0.5-20%6華氏度)

士0.05%S.P./°C(20-100°F.S.)士0.01%S.S./°c(0.5-20°F.s.)

士1%蘇格蘭元/年

士0.15百分比(華氏涅度20-100百分比)

士0.03%6華氏度(0.5-20%6華氏度)

正常關(guān)閉/壓電執(zhí)行器

<100亳秒(1-100華氏度)

<500毫秒(0.5-1%華氏度)

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以較大者為準(zhǔn)

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以較大者為準(zhǔn)

士19標(biāo)準(zhǔn)偏亞(20-100百分比標(biāo)準(zhǔn)偏無(wú))

士0.2%華氏度(0.5-20%華氏座)

<0.1%F.S.或0.015SCCM(N，)