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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質分類 | 液體 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
HORIBA寬范圍壓敏質量流量計日本制造
HORIBA寬范圍壓敏質量流量計日本制造
微流量壓力不敏感質量流量模塊
D700uF（微流）專為≤5SCCM 流量應用而設計。≤5SCCM
流量控制在高縱橫比工藝中非常關鍵。
專用組件和新開發(fā)的內部低流量標準可實現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
低至 0.025SCCM 的流量控制能力
精確調節(jié)氣體控制，增強工藝可調性
≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制
實現(xiàn)高生產率和更佳工藝性能
內部流量計量
所有制造產品均具有可靠的性能
狀態(tài)監(jiān)視功能
提供更多內部數(shù)據(jù)以實現(xiàn)更智能的故障預測
PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉性能和耐腐蝕性能
堅固耐用，顆粒風險低，減少停機時間并優(yōu)化產量
*1：請聯(lián)系我們以獲取支持的氣體類型和滿量程流量。
*2：流量精度可保證低至 0.1 SCCM N? 當量。
*3：這是在 25 ℃ 和 ≤ 1.0 × 10 -3 Pa(A) 下的保證值。
*4：這是在我們采用校準 N? 氣體的條件下保證的值。設置時間可能因氣體類型和操作環(huán)境條件而異。
*5：壓力擾動必須小于每秒 20% 的壓力變化和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*6：EtherCAT ®是德國 Beckhoff Automation GmbH
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