質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一種通過測量和控制氣體質(zhì)量流量來實(shí)現(xiàn)精密控制的設(shè)備。其核心功能是確保氣體在工業(yè)過程、科研實(shí)驗(yàn)或環(huán)境監(jiān)測中以預(yù)設(shè)的流量穩(wěn)定傳輸。根據(jù)原理不同，MFC主要分為熱式、差壓式和層流壓差式等類型。其中，層流壓差式MFC因高精度、寬量程和快速響應(yīng)等優(yōu)勢，在半導(dǎo)體制造、生物制藥等領(lǐng)域占據(jù)重要地位。

        層流壓差式原理

層流壓差式MFC基于流體力學(xué)中的哈根-泊肅葉定律，通過測量層流狀態(tài)下的壓差信號(hào)計(jì)算流量，并結(jié)合溫度、壓力補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。

        層流生成：流體通過層流元件（如蜂窩狀微通道）時(shí)，湍流被整流為層流狀態(tài)，確保流速與壓差呈線性關(guān)系。

        壓差測量：壓差傳感器實(shí)時(shí)檢測層流元件兩端的壓力差，結(jié)合流體黏度參數(shù)，通過泊肅葉方程計(jì)算體積流量。

        參數(shù)補(bǔ)償：內(nèi)置溫度、壓力傳感器對氣體密度進(jìn)行動(dòng)態(tài)修正，將工況流量轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量。

易度智能層流壓差式MFC的技術(shù)創(chuàng)新

        多參數(shù)集成：同時(shí)監(jiān)測溫度、壓力工況流量、標(biāo)況流量、累計(jì)流量等，通過觸摸屏實(shí)時(shí)顯示控制數(shù)據(jù)，支持各種通訊方式遠(yuǎn)程控制。

        寬量程覆蓋：量程范圍從0.1 sccm至20000 slpm，適應(yīng)微小流量到高流速場景。

        多氣體兼容：內(nèi)置70余種氣體數(shù)據(jù)庫，無需轉(zhuǎn)換系數(shù)即可適配多種氣體。

其他原理簡述

        熱式原理：通過加熱元件感知流體帶走的熱量差異計(jì)算流量，但需預(yù)熱（5-30分鐘）且依賴氣體熱特性參數(shù)，成本較高。

       傳統(tǒng)差壓式：基于節(jié)流元件（如文丘里管）產(chǎn)生壓差，但受湍流影響大，精度較低。

易度智能層流壓差式MFC的核心優(yōu)勢

作為國內(nèi)shou家通過層流壓差式CPA認(rèn)證的企業(yè)，易度智能的MFC在以下方面表現(xiàn)突出

高精度與穩(wěn)定性

        測量誤差低至±0.5%讀數(shù)，重復(fù)性±0.1%，滿足半導(dǎo)體工藝對納米級流量波動(dòng)的嚴(yán)苛要求

環(huán)境適應(yīng)性

        支持-50℃至110℃介質(zhì)溫度及0-3 MPa壓力范圍，適應(yīng)高溫爐、真空鍍膜等工況。

易度智能層流壓差式MFC已廣泛應(yīng)用于：

半導(dǎo)體制造：精確控制CVD（化學(xué)氣相沉積）中的反應(yīng)氣體流量，確保薄膜均勻性。

生物制藥：調(diào)節(jié)發(fā)酵工藝中的氧氣與培養(yǎng)基流量，提升產(chǎn)物純度。

環(huán)保監(jiān)測：實(shí)時(shí)監(jiān)測工業(yè)廢氣排放，助力碳中和目標(biāo)實(shí)現(xiàn)。

層流壓差式質(zhì)量流量控制器憑借其物理原理的普適性與技術(shù)升級的靈活性，成為高精度流量控制的核心設(shè)備。易度智能通過自主研發(fā)，打破了國外技術(shù)壟斷，為國內(nèi)半導(dǎo)體制造提供了可靠的國產(chǎn)化解決方案。