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D07-9質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市江麥智能科技有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)為一體的專業(yè)型企業(yè),主要服務(wù)于各科研機(jī)構(gòu)、各大高校、生產(chǎn)企業(yè)等。

本公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)客戶為宗旨,以優(yōu)良產(chǎn)品為導(dǎo)向、用專業(yè)高效的技術(shù)支持與各個行業(yè)的企業(yè)、各大高校有著良好、穩(wěn)定的合作關(guān)系。

深圳市江麥智能科技有限公司在將繼續(xù)堅(jiān)持客戶需求為王、技術(shù)服務(wù)為主、產(chǎn)品質(zhì)量為本的原則客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。



探針臺,材料催化評價裝置,自動配氣儀,氣路柜,真空封管機(jī),分子泵組,VOC發(fā)生器,濕度發(fā)生器,毛細(xì)管流量檢測儀,流量檢測儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥/生物制藥,綜合

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量;質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量 和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝 設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖 熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07-9質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、 穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作), 采用國際標(biāo)準(zhǔn)接頭, 其 操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動控制。

D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)一般與 D08 系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用, 控制控制器與顯示之間用專用電纜連接。


特點(diǎn)

• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭,國際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭

D07-9質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)技術(shù)參數(shù)

類型

D07-9E 型

D07-9EM 型

D07-9F 型

D07-9FM 型

流量規(guī)格

( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM

( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM

0~20,30,50,100,150,200,250 SLM

0~20,30,50,100,150,200,250 SLM

準(zhǔn)確度

±2 % F.S.

±2 % F.S.

±2% F.S.

±2 % F.S.

線性    

±1 % F.S.

±1 % F.S.

±1% F.S.

±1 % F.S.

重復(fù)精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2% F.S.

±0.2 % F.S.

響應(yīng)時間

(1 ~ 4) sec

(1 ~ 4) sec

≤ 4sec

≤4 sec

工作壓差范圍

20 , 30  SLM:   (0.05 ~ 0.30)  MPa (7.3~43.5 psid)
50,150  SLM:   (0.10 ~ 0.30)  MPa (14.5~43.5 psid)
200,250  SLM:   (0.15 ~ 0.30)  MPa (21.8~43.5 psid)

-

20,30  SLM: (0.05~0.30) MPa  (7.3~43.5 psid)
50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa  (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa  (21.8~43.5 psid)

-

氣壓降

-

20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid);
>100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)

-

20~100SLM: <0.02 MPa  (2.9 psid);
>100SLM: <0.05 MPa    (7.3 psid)

最大工作壓力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

3  MPa (435.1 psig)

3  MPa  (435.1 psig)

3  MPa    (435.1 psig)

工作環(huán)境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5℃ ~ 45℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

電源

+15 V   50 mA
-15V  400 mA

+15 V   50 mA
-15 V   50 mA

24VDC  400 mA

24 VDC   100 mA

重量

2.6 kg

1.5 kg

2.6 kg

1.5 kg



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