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快速退火爐是用于制造半導(dǎo)體器件的工藝，包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面，密集沉積薄膜，改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，將摻雜劑從一個(gè)薄膜移動(dòng)或轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜，或者從薄膜進(jìn)入晶片襯底。
那么快速退火爐有哪些類型呢？
一、鋁合金快速退火爐。
主要用于鋁合金、鋁板的熱處理和均熱退火。
鋁合金快速退火爐由臺(tái)車爐體、循環(huán)系統(tǒng)、導(dǎo)流設(shè)備、加熱元件、裝料臺(tái)車、爐門升降機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)組成。
二、井式真空快速退火爐。
適用于圓線材和鋼帶退火。真空加熱退火，不滲氮不脫碳，使工件退火后保持光亮。真空快速退火爐主要由爐體、爐襯、真空泵、循環(huán)風(fēng)機(jī)和電氣控制系統(tǒng)組成。
三、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐。
它由加熱爐、冷卻器、放卷機(jī)構(gòu)和電控系統(tǒng)組成。
主要適用于不銹鋼絲、銅線、鐵絲等的光亮退火。
四、井式快速退火爐。
適用于圓線材和不銹鋼線材，拉伸前退火，氧化少，無(wú)脫碳，使工件退火后保持整齊。特點(diǎn)：可配置多臺(tái)爐，多工位操作可節(jié)省人力資源，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本。
五、臺(tái)車式快速退火爐主要用于銅排、鑄鋼件、汽車零部件、軋輥、鋼球、金屬結(jié)構(gòu)件及焊件的正火及退火熱處理。臺(tái)車式快速退火爐主要由爐門升降和密封設(shè)備、爐車、爐車傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、電加熱設(shè)備和溫度控制系統(tǒng)組成?？稍谒降孛嫔鲜褂茫瑹o(wú)需基礎(chǔ)安裝。
六、罩式快速退火爐。
該設(shè)備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金、黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼及其他卷、卷、線等的退火。沒有氮化和脫碳，使工件退火后能保持整齊。該快速退火爐具有生產(chǎn)效率高、產(chǎn)品質(zhì)量好、能耗低、無(wú)污染、自動(dòng)化操作、安全可靠等優(yōu)點(diǎn)。罩式爐由加熱罩、兩個(gè)爐座、閥門框架和電氣控制系統(tǒng)組成。
七、網(wǎng)帶式不銹鋼快速退火爐。
它由進(jìn)料臺(tái)、加熱區(qū)、冷卻段、氨分解爐、電氣控制系統(tǒng)等部分組成。主要適用于各種不銹鋼、銅、鐵制品在保護(hù)氣氛控制下的連續(xù)光亮退火和固溶處理。
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