LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設備
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/6 11:32:20
- 訪問次數(shù) 411
聯(lián)系方式：謝澤雨19842703026 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
1.產(chǎn)品概述：
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 LSA101 相同的架構，但包括獲得利的微室設計，可在掃描激光系統(tǒng)中實現(xiàn)全晶圓環(huán)境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統(tǒng)能夠運行任何惰性氣體的混合物，包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結活化和鎳硅化物形成等應用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝，例如環(huán)境控制至關重要的界面工程和材料改性。
2.產(chǎn)品特點
長波長、布魯斯特角、p 偏振光，可實現(xiàn)佳的芯片內(nèi)均勻性
閉環(huán)溫度反饋控制，保持嚴格的溫度控制
布局獨立設計，非常適合處理平面和 FinFET 器件
具有靈活停留時間的局部應力場可實現(xiàn)低應力處理并減少晶圓破損。
采購中心
化工儀器網(wǎng)