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北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
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KOFLOC 科賦樂 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)

參   考   價(jià): 5136

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)EX-550 系列

品       牌KOFLOC/科賦樂

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2025-03-22 16:36:52瀏覽次數(shù):55次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 1萬-3萬 介質(zhì)分類 氣體&液體
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,航空航天,電氣,綜合
KOFLOC 科賦樂 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量計(jì) EX-550 系列
它是一款全金屬M(fèi)FC,配備高速繞線傳感器,具有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。
SEMI兼容106mm(可選擇124mm)表面,RS485通信是標(biāo)準(zhǔn)配置。
高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品,1.0%SP。

KOFLOC 科賦樂 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量計(jì) EX-550 系列

KOFLOC 科賦樂 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量計(jì) EX-550 系列

它是一款全金屬M(fèi)FC,配備高速繞線傳感器,具有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。
SEMI兼容106mm(可選擇124mm)表面,RS485通信是標(biāo)準(zhǔn)配置。
高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品,1.0%SP。

  • 金屬密封結(jié)構(gòu)

  • 高速應(yīng)答及出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性

  • 0-5V或4-20mA輸入/輸出信號(hào),電源
    可從±15 V或24 V單電源選擇
    □電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器

  • 通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān),可以使用主機(jī)中登記的氣體類型。
    ※流量是與N2氣體的比率計(jì)算出的值

  • 標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能(RS485)

  • 符合RoHS•CE標(biāo)準(zhǔn)

EX-550標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

形式質(zhì)量流量控制器
EX-550C
質(zhì)量流量計(jì)
EX-550M
傳感器方式熱繞組傳感器
閥門方式比例螺線管閥門(未通電時(shí)關(guān)閉)
目標(biāo)氣體(* 1)N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未列出的氣體換算成N2)
流量范圍(* 2)10 SCCM~5 SLM
控制范圍(測(cè)量范圍)2~100%(F.S.)
響應(yīng)速度總流量控制范圍在1sec內(nèi)(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度±1.0%SP(25%FS至100%FS),±0.25%FS(25%FS)
再現(xiàn)性±0.2%F.S.
工作壓差(* 3)50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
最大入口壓力350kPa(G)
耐壓980kPa(G)
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度允許周圍溫度5~50℃
精度保證溫度15~35℃
允許儲(chǔ)存溫度-10~60℃
允許環(huán)境濕度10~90%RH (無結(jié)露)
氣體接觸材料SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co
電氣連接Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn))
HR-10A×2
流量設(shè)定輸入信號(hào)0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
Or 4~20mA(輸入電阻約250Ω)
流量輸出信號(hào)0~5 VDC(負(fù)載電阻10kΩ以上)
or 4~20mA(負(fù)載電阻500Ω以下)
數(shù)字通信通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需電源(DC)+15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都為100mA以下)
接頭相當(dāng)于1/4 VCR
安裝姿勢(shì)
重量約800g



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