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特點(diǎn)：

★ 真空度讀顯功能，集成化一體設(shè)計(jì)

★ 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，便于放置搬運(yùn)

★ 系統(tǒng)內(nèi)置破空電磁閥

★ 極限真空度10^-8mbar

★ 即插即用式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的一鍵式操作

用途：

分子泵組主要用于真空鍍膜、半導(dǎo)體、電子、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、物理化學(xué)實(shí)驗(yàn)室，電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域?？膳浜辖湹恼婵仗结樑_(tái)、真空封管機(jī)等需要真空環(huán)境的設(shè)備一同使用。

分子泵組產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)：

儀器使用維護(hù)與故障診斷

在安裝、操作儀器時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。

儀器的使用和維護(hù)

n儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。

n儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門(mén)的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。

n使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干凈，以免灰塵將機(jī)械精密部件、光學(xué)部件、電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。

n儀器機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可，不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。

n儀器顯示器部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸不含水酒精從中間向外輕輕的擦拭。不含水酒精是易燃物，注意使用安全。

n停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。

n操作人員必須嚴(yán)格按要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。

常見(jiàn)故障的排除

   當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。