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日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統(tǒng)
參考價: 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號
  • OTSUKA/日本大塚 品牌
  • 代理商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):82更新時間:2025-02-22 11:18:45

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息 特殊長度 可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學(xué)常數(shù)。 除了支持包括下一代尺寸在內(nèi)的大型玻璃基板外,它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。 用法 LCD ITO...
產(chǎn)品介紹

日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統(tǒng)

產(chǎn)品信息

特殊長度

可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學(xué)常數(shù)。除了支持包括下一代尺寸在內(nèi)的大型玻璃基板外,它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。

     

用法

LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass

TFT
SiN / a-Si / 玻璃

有機EL
有機EL / ITO / 玻璃

PDP
介電層/玻璃

核心特點


  1. 超大基板全覆蓋:專為下一代尺寸玻璃基板設(shè)計(支持超長/超寬規(guī)格),可高效測量LCD、TFT、有機EL等大型面板,兼容PI、ITO、SiN、介電層等復(fù)雜膜層結(jié)構(gòu)。


  2. 納米級精度與秒級速度:采用分光干涉+AI算法技術(shù),單點測量時間<1秒,膜厚精度±0.1nm,光學(xué)常數(shù)(n/k)解析<0.5%,滿足量產(chǎn)級質(zhì)量控制需求。


  3. 全場景適配性:從研發(fā)實驗室到自動化產(chǎn)線,支持在線(inline)集成,可定制XYZ多軸平臺,實現(xiàn)基板全域厚度分布映射與缺陷快速篩查。


  4. 高速量產(chǎn)優(yōu)化:每小時可檢測超3000點,支持多探頭并行測量,大幅提升玻璃基板(如G8/G10)產(chǎn)線效率,降低設(shè)備綜合成本(CoO)。


  5. 超薄與超厚膜通吃:量程覆蓋1nm至200μm,適用于OC(光學(xué)膠)、Resist(光刻膠)等軟膜與硬質(zhì)涂層的精準(zhǔn)厚度控制。


  6. 低維護(hù):非接觸式測量設(shè)計,無探針損耗,長期使用穩(wěn)定性達(dá)99.8%,搭配遠(yuǎn)程診斷功能,減少停機風(fēng)險。

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