目錄:上海首立實業(yè)有限公司>>HORIBA（過程&環(huán)境）>>過程分析>> MICROPOLE系統(tǒng)殘余氣體分析儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子/電池 |
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特征
與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，尺寸較小，這使它容易整合到您的系統(tǒng)之中。
在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。
可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10-3mbar）的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當(dāng)中，可以簡化或者省略泵的使用。
此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進行過預(yù)調(diào)諧和校準。允許客戶自己在現(xiàn)場進行傳感器的更換。
升級到八電極后，可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監(jiān)測。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進行遠程監(jiān)測。
微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測氣體的部分壓力，如趨勢曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統(tǒng)計圖，3D等
可選擇性的監(jiān)測控制器可以安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上，使用戶無需電腦可以監(jiān)測真空反應(yīng)室。
■測量原理
殘余氣體分析儀是由一個離子源，一個質(zhì)量分光儀和一個監(jiān)測單元組成。當(dāng)殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產(chǎn)生的離子會加速會合到質(zhì)量能譜儀上。在質(zhì)量能譜儀上內(nèi)，直流和交流電壓被應(yīng)用到四個圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發(fā)現(xiàn)。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的。
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