您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
15510102388
VPD 的最高靈敏度
兼容最大 300 毫米的晶圓
| 技術(shù) | 全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜法 （TXRF） 與氣相分解 （VPD） | |
|---|---|---|
| 用 | 微量元素表面污染測(cè)量 niyoru 1E7 原子/cm2 檢測(cè)限 標(biāo)測(cè)速度提高約 3 倍 | |
| 科技 | 集成自動(dòng) VPD 制備、三光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)元件更換 | |
| 主要組件 | 三探測(cè)器配置： 高功率 W 與陰極 X 射線源（9 kW 旋轉(zhuǎn)與陰極） 3 種激發(fā)能量，針對(duì)輕元素、過(guò)渡元素和重元素 進(jìn)行了優(yōu)化 XYθ 樣品臺(tái) 雙 FOUP 負(fù)載端口 | |
| 特征 | 全晶圓映射 （SWEEPING-TXRF） 零 邊緣排除 （ZEE-TXRF） 集成 自動(dòng) VPD 預(yù)處理 （VPD-TXRF） 用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口，可實(shí)現(xiàn)最高靈敏度 | |
| 選擇 | 背面分析 （BAC-TXRF） GEM300 軟件，E84/OHT 支持 氣相處理 （VPT-TXRF），以提高靈敏度，同時(shí)保留空間信息 VPD 用于親水性晶圓表面（例如 SiC） | |
| 本體尺寸 | 1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H） （不包括顯示器和信號(hào)塔） | |
| 測(cè)量結(jié)果 | 定量結(jié)果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表 | |
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
