目錄:廣州金程科學儀器有限公司>>等離子表面處理儀>> PDC610雅馬拓YAMATO多段式等離子清洗機表面清潔機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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廣州金程科學儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC610，小型、多段式等離子清洗機。600W的小型高輸出功率，可處理縱型的試料收納盒。雅馬拓YAMATO多段式等離子清洗機表面清潔機
儀器特點：
600W的小型高輸出功率。
電極可選擇1·2·3段（采購時確定）。
可處理縱型的試料收納盒。
可選擇RIE/DP模式（采購時指ding）。
數(shù)據(jù)記錄器（選配）。
適配點記憶功能（選配）。
型號 | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP（固定模式） |
電極構(gòu)造 | 3段獨立平行平板（固定） |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制 顯示方式 | PLC 觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350xD270xH300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵（約345L/分）標配 |
外形尺寸（寬x深x高） | W600xD722xH700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
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