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更新時(shí)間：2024-12-04 16:51:38瀏覽次數(shù)：151次
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日本無(wú)掩膜光刻機(jī) 研發(fā)及小批量訂單利器
| 型號(hào) | PALET DDB-701 | 電源 | 220v |
|---|---|---|---|
| 精度 | 3μm |
桌面無(wú)掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng)，通過(guò)其復(fù)雜的軟件支持簡(jiǎn)單的光刻操作。
桌面臺(tái)式無(wú)掩模光刻系統(tǒng) 電動(dòng) PALET DDB-701-DL,桌面臺(tái)式無(wú)掩模光刻系統(tǒng) 電動(dòng) PALET DDB-701-DL
產(chǎn)品特點(diǎn)
硬件特性
小型化
內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)和真空吸油泵
只需要電源和光刻間
軟件特性
用戶方便型接口
簡(jiǎn)易流程
支持對(duì)準(zhǔn)和暴露條件檢查*限制電動(dòng)載物臺(tái)模型
型號(hào) | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
載物臺(tái)(Stage) | 手動(dòng) XYZθ載物臺(tái) | 電動(dòng) XYZθ載物臺(tái) |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 線寬 | 3μm *1 | |
單次曝光面積 | 1mm×0.6mm *1 | |
每張照片曝光時(shí)間*3 | 1～2 sec. *1 | |
Max. 曝光區(qū)域 | 25mm×25mm(手動(dòng)連接) | 25mm×25mm(自動(dòng)連接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文檔格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主體尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主機(jī)重量 | 30kg |
*1在使用×10物鏡的情況下
*2在使用×2物鏡的情況下
*3曝光時(shí)間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)
日本無(wú)掩膜光刻機(jī) 研發(fā)及小批量訂單利器
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