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上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司
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臭氧傳輸系統(tǒng)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號ODS系列

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2025-01-14 19:39:14瀏覽次數(shù):1098次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,冶金,煙草,電氣
臭氧傳輸系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求最高的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合wan全,操作簡單,能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機(jī)臺聯(lián)動(dòng),插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送

臭氧傳輸系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求最高的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合wan全,操作簡單,能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機(jī)臺聯(lián)動(dòng),插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險(xiǎn)。

臭氧傳輸系統(tǒng)規(guī)格

臭氧傳輸系統(tǒng)特征
 
高純度水冷臭氧發(fā)生器,濃度最高達(dá)
350 g/Nm3
zuixian進(jìn)的高濃度監(jiān)測儀
使用質(zhì)量流量計(jì)監(jiān)測和控制臭氧和
進(jìn)氣
完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)
最多支持四個(gè)獨(dú)立的伺服控制回路
19英寸柜機(jī)式外殼,頂端帶有排氣系
統(tǒng),底端配有輪子

應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
顆粒清潔
光刻膠去除
灰化


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