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詳細介紹
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
特征
- 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機型
- 小型濺射裝置，可以輕松地制造電極薄膜
- 標配間歇濺射功能
- 使用專yong的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。
應(yīng)用/結(jié)果示例
- 各種設(shè)備的電極膜附件
- 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用?
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
| 濺射靶 | 包含金靶 |
| 氣體導(dǎo)入機制 | 針閥 |
| 間歇功能 | 標配 |
| 真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ90mmx D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：160/326 / 286mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：10公斤RP：9公斤 |
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