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表面缺陷檢查

崩邊、缺口

2  檢出率=檢出不合格品數(shù)/不合格品總數(shù)*100%

2  誤檢率=誤檢產(chǎn)品數(shù)/產(chǎn)品總數(shù)*100%

1.檢出率：每種缺陷準(zhǔn)備10張硅片，反復(fù)各運(yùn)行50次，驗(yàn)證檢出率；

2.誤檢率：運(yùn)行2000片硅片，對(duì)檢出的硅片人工復(fù)檢，確認(rèn)誤檢的產(chǎn)品數(shù)量，計(jì)算誤檢率；

見(jiàn)3條中的技術(shù)指標(biāo)

圖像灰度值差距>30

臟污

見(jiàn)3條中的技術(shù)指標(biāo)

劃傷

見(jiàn)3條中的技術(shù)指標(biāo)

3D檢測(cè)

厚度

1.絕對(duì)精度：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品（或1片硅片）與投影儀實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)比較；

2.GR&R：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品（或1片硅片）10次得到測(cè)量結(jié)果進(jìn)行計(jì)算GR&R；

見(jiàn)3條中的技術(shù)指標(biāo)

TTV

見(jiàn)3條中的技術(shù)指標(biāo)

翹曲、變形

見(jiàn)3條中的技術(shù)指標(biāo)

平面度

晶圓正面抽樣點(diǎn)和擬合平面最大偏差值

粗糙度

連續(xù)抽樣多點(diǎn)高度計(jì)算

表面缺陷檢查

崩邊（非立崩）、缺口

可檢能力≥170um*170um

檢出率100%

圖像灰度值差距>30；列出大小指標(biāo)是可檢能力，設(shè)置過(guò)小會(huì)存在誤判多的問(wèn)題，因此設(shè)定參數(shù)需按實(shí)際生產(chǎn)需求設(shè)定；

沾污

可檢能力≥170um*170um

檢出率≥95%

誤檢率<0.5%（大小≥450um*450um情況下或?qū)嶋H生產(chǎn)需求設(shè)定的指標(biāo)）

劃傷

可檢能力≥170um*170um

檢出率>95%（大小≥170um*450um情況下或?qū)嶋H生產(chǎn)需求設(shè)定的指標(biāo)）

劃傷淺易漏檢

3D檢測(cè)

厚度

檢測(cè)精度分辨率+/-0.25um

測(cè)量重復(fù)性：≤±1μm

GR&R<10%

最大、最小、平均值

TTV

測(cè)量精度+/-2um

GR&R<10%

TTV整條線(xiàn)

翹曲、變形

測(cè)量精度+/-2um

GR&R<20%

最大值

平面度

+/-0.5um

偏差值

粗糙度

計(jì)算值

處理能力

檢測(cè)周期

60s/片