產(chǎn)品特點(diǎn):

紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷

燈管功率 PID 控溫,可精準(zhǔn)控制溫度升溫 ，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性

大氣與真空處理方式均可選擇，進(jìn)氣前氣體凈化處理

標(biāo)配兩組工藝氣體，最多可擴(kuò)展至 6 組工藝氣

采用平行氣路進(jìn)氣方式，氣體的進(jìn)入口設(shè)置在 Wafer 表面，避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生，保證產(chǎn)品良好 的溫度均勻性

技術(shù)參數(shù)：

最大產(chǎn)品尺寸最大處理 200×200mm，兼容8寸，及8寸以下wafe

腔體數(shù)量：單腔

腔體溫度監(jiān)控：＜70℃

溫度范圍：室溫~1250℃

溫度控制重復(fù)性：±2℃

恒溫持續(xù)時(shí)間：可依據(jù)要求編程

控溫區(qū)域：多組控溫區(qū)域，保證恒溫區(qū)溫度穩(wěn)定性

抽氣速率：500SLM

漏率：30mTorr/min

SCR 控溫區(qū)域:16 組控溫區(qū)

降溫速度:約 200℃/min(1000~400℃) 不可編程

持溫時(shí)間:可依據(jù)制程需求設(shè)定持溫時(shí)間

燈管電流精度:≤±0.1amp

燈管:平均 1500 小時(shí)以上使用壽命，上下兩面同時(shí)加熱