臺階儀（探針式表面輪廓儀）

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 [1] 。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

臺階儀（探針式表面輪廓儀）

規(guī)格

測量技術 探針輪廓技術

測量功能 二維表面輪廓測量

可選三維測量/

樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

探針傳感器 低慣量傳感器 （LIS 3）

探針壓力 使用LIS 3傳感器：1 至 15mg

低作用力（選配） 使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg

探針選項 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm

高徑比 （HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客戶要求定制針尖

樣品X/Y載物臺 手動 X-Y 平移：100mm （4 英寸）

機動X-Y 平移：150mm （6 英寸）

樣品旋轉臺 手動，360°旋轉;

機動：360°旋轉;

計算機系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器

軟件 Vision64操作及分析軟件；

應力測量軟件；懸臂偏轉；

縫合軟件；三維掃描成像軟件

減震裝置 減震裝置可用

掃描長度范圍 55mm （2英寸）

每次掃描數(shù)據點 *多可達120,000數(shù)據點

樣品厚度 50mm （2英寸） 晶圓尺寸 200mm （8英寸）

臺階高度重現(xiàn)性 <5Å, 1σ在1μm臺階上

垂直范圍 1mm （0.039英寸）

垂直分辨率 1Å （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

溫度范圍 運行范圍20 到 25°C （68到77°F）

濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝

系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）;