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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,建材/家具,航空航天,汽車及零部件 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
1000度高溫?zé)崤_ 紅外發(fā)射率測試 硅片退火爐技術(shù)參數(shù)；
真空腔體 | |
型號： | KT-Z10001R |
類型 | 高溫加熱型 1000℃（高于 600℃需真空環(huán)境） |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
腔體重量 | 約2.5KG |
腔體內(nèi)尺寸 | 約147mmX72mmX22mm |
腔體外尺寸 | 約170mmX95mmX37mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
腔體真空測量口 | KF16 法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 |
腔體水冷接口 | 6mm快擰 或 6mm快插 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺 | |
樣品臺材質(zhì) | 高溫絕緣陶瓷 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 |
樣品臺-視窗 距離 | 18mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
樣品臺測溫傳感器 | S 型熱電偶 |
樣品臺溫度 | 室溫到1000℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.1℃ |
樣品臺升溫速率 | 高溫 100℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn) PID 溫控 +自整定 30 段編程控溫 |
溫度分辨率 | 1℃ |
溫控精度 | ±1℃ |
溫度信號輸入類型 | S （可選 PT100 熱電阻 K B 型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm |
溫控器重量 | 約5.6KG |
水冷機(jī) | |
冷卻方式 | 壓縮制冷 |
冷卻溫度 | 室溫到 5℃ |
冷卻水流量 | 10L/min |
冷卻介質(zhì) | 純水 |
冷卻水管接口 | 6mm 快插 |
10001000度高溫?zé)崤_ 紅外發(fā)射率測試 硅片退火爐
