北斗中頻發(fā)生器BDS-MF Generator BDiscom

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BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低電壓交流等離子體發(fā)生器

BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發(fā)生器，最大功率為 5、10 或 15 kW，專為 PECVD 或等離子體清潔應用中的等離子體激發(fā)而設(shè)計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率。

輸出為平衡型，可驅(qū)動2個對稱電極。典型應用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個*的功能是內(nèi)置 2 個（標準）或 3 個（根據(jù)要求）變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。

用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus（根據(jù)要求）。

亮點和好處：

內(nèi)置輸出匹配變壓器，無需外接盒。

風冷機組。沒有與潮濕或漏水相關(guān)的風險。

全功率，環(huán)境溫度高達 40C°。

模擬接口。

可根據(jù)要求提供 Profibus 接口。

前面板顯示屏使安裝和故障排除更容易。

高效率>90%。

結(jié)構(gòu)緊湊輕便，僅重 20kg，4UI。

直流等離子發(fā)生器

我們處理來自 TRUMPF Hüttinger 的直流發(fā)電機和直流脈沖等離子體勵磁發(fā)電機。在直流等離子體激發(fā)方面，直流發(fā)電機是經(jīng)典之作。如今，直流發(fā)生器作為低成本進入等離子體激發(fā)技術(shù)的一個例子，被用于許多應用中。直流脈沖等離子體激勵非常適用于多種反應過程。與簡單的直流發(fā)電機相比，脈沖直流電能夠處理半導電材料和非導電材料，例如氧化物。

特征

無缺陷表面和高鍍膜速率——即使在非常苛刻的直流濺射工藝中也是如此。

集成水冷或風冷變體

緊湊的設(shè)計

應用

使用直流磁控濺射的功能涂層可提高表面硬度和靜摩擦力

涂層表面具有更好的熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性

用于各種材料的紙薄金屬層涂層的金屬化工藝，以獲得光學或電學性能

光伏電池、觸摸屏等中的導電材料 (TCO) 涂層。

建筑玻璃濺射鍍膜