產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,包裝/造紙/印刷,紡織/印染 |
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機臺型號:PH16H
整機規(guī)格:1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm(H)
電極規(guī)格:16層垂直式式電極板(850mm×550mm)
電源系統(tǒng):10KW等離子體發(fā)生源(40KHz,可選13.56MHz)
控制系統(tǒng):PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制
進氣系統(tǒng):2—5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O2