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上海譜閔工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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  • 型號(hào)
  • 品牌 REXROTH/德國(guó)力士樂(lè)
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地 上海市

更新時(shí)間:2021-09-27 16:02:51瀏覽次數(shù):975

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【簡(jiǎn)單介紹】
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,電子/電池
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MEMS是一種將微與機(jī)械工程融合到一起的工業(yè)技術(shù),MEMS的發(fā)展涉及并影響著很多領(lǐng)域的科學(xué)研究與技術(shù)進(jìn)步,包括電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等。通常,它的操作尺度在微米級(jí)別。

MEMS由尺寸為1-100微米的部件組成,一般MEMS設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間。類(lèi)似手機(jī)卡有Micro也有Nano,也有比MEMS更微型的機(jī)電系統(tǒng),它的操作尺度在納米級(jí)別。這種與MEMS類(lèi)似的技術(shù),被稱(chēng)為NEMS(nanoelectromechanical systems,納機(jī)電系統(tǒng))。

MEMS的內(nèi)部通常包含一個(gè),以及若干獲取外界信息的微型傳感器。也因?yàn)椴僮鞒叨刃。却笮碗娮?、機(jī)械系統(tǒng)更容易受環(huán)境影響,MEMS在設(shè)計(jì)時(shí)需要考慮靜電荷和磁矩等環(huán)境電磁作用,以及表面張力和粘度等流體動(dòng)力學(xué)的影響。

MEMS產(chǎn)業(yè)得以繁榮發(fā)展,離不開(kāi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加工技術(shù)的長(zhǎng)足進(jìn)步。

「MEMS傳感器」是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的新型傳感器。得益于在微米尺寸工作的特性,MEMS可以完成一些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。這也成就了MEMS傳感器相對(duì)于傳統(tǒng)傳感器的一些優(yōu)勢(shì),例如:體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、成本低、適于批量化生產(chǎn)、易于集成等。

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