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目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>激光測(cè)量設(shè)備>>干涉儀>> 皮米級(jí)絕對(duì)距離測(cè)量干涉儀

皮米級(jí)絕對(duì)距離測(cè)量干涉儀
  • 皮米級(jí)絕對(duì)距離測(cè)量干涉儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
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更新時(shí)間:2021-12-17 15:46:33瀏覽次數(shù):2174評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合
相對(duì)距離的重復(fù)精度 50皮米
皮米級(jí)絕對(duì)距離測(cè)量干涉儀通過將可調(diào)激光器的頻率鎖定到F-P干涉儀的的諧振頻率上,將干涉儀的位移測(cè)量轉(zhuǎn)換為頻率變化的測(cè)量。當(dāng)F-P腔長(zhǎng)在變化時(shí),其諧振峰的頻率也在發(fā)生變化,通過測(cè)量初始腔長(zhǎng),初始頻率和頻率變化,就可實(shí)現(xiàn)測(cè)量腔長(zhǎng)。

皮米級(jí)絕對(duì)距離測(cè)量干涉儀(可試用)


     



      昊量光電推出的皮米級(jí)絕對(duì)距離干涉測(cè)量?jī)xquDIS是目前市面上同類別可以測(cè)量皮米級(jí)絕對(duì)距離的干涉儀。基于其*的測(cè)量原理,相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米。絕對(duì)距離也可以達(dá)到20m。下面我來詳細(xì)介紹一下quDIS絕對(duì)距離測(cè)量的基本原理:


一.“干涉光譜學(xué)"-頻率分析和相對(duì)距離

       傳統(tǒng)的干涉測(cè)距法都是待測(cè)目標(biāo)移動(dòng)產(chǎn)生的和參考光路不同的光程差,產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。而除了光路長(zhǎng)度的改變,在恒定路徑下激光波長(zhǎng)的改變也會(huì)導(dǎo)致信號(hào)的干涉調(diào)制。通過激光器控制掃描波長(zhǎng),控制引入多個(gè)波長(zhǎng)變化,這樣避免了靜態(tài)狀態(tài)下的相對(duì)誤差。這種方法稱為“干涉光譜學(xué)"。

      德國(guó)qutools公司生產(chǎn)的皮米級(jí)位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是基于法-珀干涉而設(shè)計(jì)的。較之傳統(tǒng)的設(shè)計(jì),創(chuàng)新性的增加了飽和吸收氣室(GC)單元,根據(jù)其氣體的吸收光譜可以用來進(jìn)行精確的波長(zhǎng)控制。通過快速的上下掃描改變激光波長(zhǎng)使波長(zhǎng)變化滿足 Δλ/Δt >>Δx/Δt 。內(nèi)部光學(xué)參考腔將波長(zhǎng)變化穩(wěn)定為線性波長(zhǎng)掃描。這種測(cè)量方法不受對(duì)比度和檢測(cè)信號(hào)強(qiáng)度的影響。其他方法僅在恒定波長(zhǎng)下監(jiān)測(cè)強(qiáng)度(arcsin)或偏差(arctan),從而導(dǎo)致典型的周期性誤差存在。


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二.法珀參考腔-激光穩(wěn)頻和絕對(duì)距離測(cè)量

     “干涉光譜法"與飽和吸收室(GC)結(jié)合使用也是可以實(shí)現(xiàn)絕對(duì)距離的測(cè)量。

       通過將可調(diào)激光器的頻率鎖定到F-P干涉儀的的諧振頻率上,將干涉儀的位移測(cè)量轉(zhuǎn)換為頻率變化的測(cè)量。當(dāng)F-P腔長(zhǎng)在變化時(shí),其諧振峰的頻率也在發(fā)生變化,通過測(cè)量初始腔長(zhǎng),初始頻率和頻率變化,就可實(shí)現(xiàn)測(cè)量腔長(zhǎng)。可調(diào)激光器的頻率變化可通過與一個(gè)穩(wěn)頻激光器進(jìn)行拍頻來測(cè)量。因這種方式將位移變化轉(zhuǎn)換為了頻率變化,只要保證頻率變化為線性變化,就可以避免干涉儀的非線性誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。同時(shí)其理論分辨率低可達(dá)到1pm。

       絕對(duì)距離測(cè)量方式就是基于上文中提到的“拍頻"的方式,通過將內(nèi)部參考腔鎖頻,使其頻率和腔長(zhǎng)保持恒定,這樣,通過測(cè)量頻率變化,就可以知道實(shí)時(shí)的腔長(zhǎng),也就是絕對(duì)距離。

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干涉?zhèn)鞲蓄^

激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實(shí)現(xiàn)的,根據(jù)反射目標(biāo)的不同,不同的應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于光纖設(shè)計(jì)。quDIS為常規(guī)情況下的使用提供標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和定焦傳感頭,同時(shí)根據(jù)具體的需要以及惡劣環(huán)境下的應(yīng)用,也設(shè)計(jì)了響應(yīng)的特殊傳感頭。



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環(huán)境測(cè)試模塊(AMU)

   環(huán)境測(cè)試模塊(AMU)設(shè)計(jì)用于補(bǔ)償由溫度T、壓力p和相對(duì)濕度rH波動(dòng)引起的折射率變化,總體精度為1ppm。

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皮米級(jí)絕對(duì)距離測(cè)量干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 多維度多通道位移干涉器,操作簡(jiǎn)單,即插即用

  • 相對(duì)距離和絕對(duì)距離測(cè)量

  • 完善的全套系統(tǒng)配置

  • 實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像

  • 針對(duì)不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

  • 長(zhǎng)期使用保證穩(wěn)定性

  • 兼容真空與各種惡劣環(huán)境


*優(yōu)勢(shì):

  • 絕對(duì)距離高精度測(cè)量!

  • 不存在非線性及周期性誤差!

  • 相對(duì)距離信號(hào)穩(wěn)定性<0.05nm!

  • 工作距離zui大20m(與傳感頭相關(guān))

  • 目標(biāo)zui大速度1m/s

  • 三個(gè)傳感接口,可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步

  • 探測(cè)器分辨率達(dá)到1pm


應(yīng)用領(lǐng)域:

  •  極限環(huán)境下振動(dòng)分析

  •  緩慢漂移及熱膨脹檢測(cè)

  •  精密設(shè)備位置控制

  •  納米級(jí)位移測(cè)量

  •  層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測(cè)量

  •  位移和振動(dòng)精度評(píng)估


皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表:

干涉儀傳感
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW相對(duì)距離穩(wěn)定性< 0.05nm
波長(zhǎng)1535nm絕對(duì)距離精度<0.2nm/mm
線寬<5MHz帶寬25kHz
傳感器通道3工作距離0.1—20m
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標(biāo)速度<1m/s
Mating Sleeves傳感頭真空
同步多臺(tái)設(shè)備同步低溫


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