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目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實驗設(shè)備>>光刻機>> SMART PRINT UVDMD無掩膜光刻機

DMD無掩膜光刻機
  • DMD無掩膜光刻機
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SMART PRINT UV
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

產(chǎn)地類別:進口 應(yīng)用領(lǐng)域:電子

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更新時間:2021-06-23 09:29:56瀏覽次數(shù):2926評價

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產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子
主要特性 兼容i、h、g線光刻膠
DMD無掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無掩模光刻設(shè)備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。

DMD無掩膜光刻機

DMD無掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無掩模光刻設(shè)備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進后的標準投影技術(shù),投影出具有微米分辨率的圖像,無掩膜光刻機SmartPrint無需任何進一步步驟,就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機SmartPrint主要應(yīng)用是微流體,生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。

 

DMD無掩膜光刻機主要特性:

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標準i, h和g線光刻膠,如SU8或AZ®1500系列

 

適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經(jīng)過精心選擇,具有較長的工作距離(高達3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù),因此兼容非標準基材(非平的,靈活的,厚的)。

 

可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率      

 優(yōu)直寫分辨率1.5um                                                                     

                                     

 

兼容任何尺寸的樣品,最大5平方英寸                                         

對齊方式直觀——反饋相機與第二束590nm準直光源疊加使用

                       

 

體積小,性價比高

 

DMD無掩膜光刻機應(yīng)用領(lǐng)域:

               

 光器件         微流控         微電子

 

DMD無掩膜光刻機指標參數(shù):

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