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初級(jí)會(huì)員 | 第8年

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PDS-105R半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
  • PDS-105R半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
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更新時(shí)間:2025-04-25 21:00:08

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PDS-105R半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
高精度, 結(jié)構(gòu)緊湊, 節(jié)省光刻膠

PDS-105R
高精度, 結(jié)構(gòu)緊湊, 節(jié)省光刻膠

高精度
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),重復(fù)精度達(dá)±0.3% (F.S.)。

結(jié)構(gòu)緊湊
高度260mm (舊型號(hào)達(dá)330mm),寬度僅50mm (舊型號(hào)為60mm)。

節(jié)省光刻膠
采用高扭距步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),吐出穩(wěn)定,重復(fù)精度高。

無(wú)污染
優(yōu)化管膜片的設(shè)計(jì),消除因滑動(dòng)部件的磨損而產(chǎn)生顆粒的可能性,以及在盲區(qū)凝結(jié)的可能性。

節(jié)省光刻膠


規(guī)格

最大吐出量

5.0 mL/shot

吐出速度

0.1 ~ 4.0 mL/sec

吸入速度

0.1 ~ 3.0 mL/sec

最大吐出壓力

0.15 MPa

重復(fù)精度

±0.3 % (F.S.) 或以下

主要材質(zhì)

PFA, PTFE, PCTFE, Kalrezr 3

液體粘度范圍

200 mPa·s


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