 |
深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計 |
9
聯(lián)系電話
13823147203
公司信息
- 聯(lián)系人：
- 林經(jīng)理
- 電話：
- 手機：
- 13823147203
- 地址：
- 深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
- 郵編：
- 個性化：
- www.cnakiyama.com
AU靶濺射成膜裝置MSP-mini介紹
2023-3-20 閱讀(980)
AU靶濺射成膜裝置MSP-mini介紹
采用反應(yīng)射頻磁控濺射法制備Au復(fù)合薄膜,并對使用Au靶共濺射、分步濺射方式以及在不同的襯底溫度和Ar/O2氣體流量比下制備的樣品進(jìn)行X射線光電子能譜、X射線衍射和掃描電子顯微鏡分析,研究了主要工藝參數(shù)對復(fù)合薄膜表面成分和形貌的影響.結(jié)果表明,采用共濺射方式制備的復(fù)合薄膜中Au元素的含量偏高,薄膜表面有團(tuán)聚生長的Au晶粒,而采用分步濺射法可以使復(fù)合薄膜中Au元素的摩爾百分比下降到7.30％.采用分步濺射制備復(fù)合薄膜時,較高的襯底溫度有助于MgO晶粒的生長,當(dāng)襯底溫度為500℃,通入Ar氣和O2氣的流量分別為25和5mL/min時,MgO晶粒尺寸達(dá)到了30～40 nm;MO薄膜主要呈現(xiàn)出了(111)、(200)和(220)三種結(jié)晶取向,較高的Ar/O2氣體流量比有利于(200)晶向的形成,而較低的Ar/O2氣體流量比有利于(220)晶向的形成。
MSP-mini是桌上SEM觀察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置。
●用一個按鈕自動涂層。沒有任何繁瑣的操作。
●去除所有贅肉的高性價比機。我是MSP-1S的弟弟。
●小型目標(biāo)（φ30mm）。實現(xiàn)低運行成本。
●標(biāo)準(zhǔn)附帶Au靶。在桌上SEM的預(yù)處理中發(fā)揮實力。
●可選靶Ag膜具有良好的光澤，便于透明材料表面的光學(xué)顯微鏡觀察。
