BURKERT8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。

BURKERT8741型氣體流量控制器必要時(shí)可以設(shè)置為MFC或者M(jìn)FM，且規(guī)定用于büS或者CANopen網(wǎng)絡(luò)中。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)CAN物理層為基礎(chǔ)，Bürkert特別為涉及多個(gè)控制回路（通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)加以驅(qū)動(dòng)）的應(yīng)用而對(duì)其進(jìn)行了研發(fā)。型號(hào)為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元(SCU, System Control Unit)將客戶(hù)的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩腷üS中，并驅(qū)動(dòng)所有相連的電子設(shè)備。設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，BURKERT8741型氣體流量控制器也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎(chǔ)設(shè)施中。借助MEMS傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響?？梢詫?duì)MFC/MFM進(jìn)行校準(zhǔn)，使其用于測(cè)量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體，用戶(hù)可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時(shí)間：<3秒
重復(fù)性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿(mǎn)量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準(zhǔn)氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
介質(zhì)溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時(shí)間：<3秒準(zhǔn)確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（1分鐘預(yù)熱時(shí)間后）

BURKERT8741型氣體流量控制主要特點(diǎn)：
采用 MEMS 技術(shù)直接測(cè)量流量
測(cè)量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時(shí)間非常之短
現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)通信基于 CANopen

測(cè)量原理：
用于工藝技術(shù)中直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。在體積流量計(jì)的情況下，有必要測(cè)量溫度，壓力或者是密度，因?yàn)闅怏w會(huì)根據(jù)壓力改變它們的密度或者它們的體積。另一方面，質(zhì)量流量的測(cè)量與壓力和溫度。數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)8006型使用基于熱量原理的直列式傳感器（參見(jiàn)直接位于主通道的頁(yè)面上的說(shuō)明）由于傳感器直接位于主通道中，因此MFM的響應(yīng)時(shí)間非常短這種主流測(cè)量的另一個(gè)好處是它對(duì)污染不那么敏感，實(shí)際流量是作為模擬輸出信號(hào)給出的，或者可以通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)通信讀取，8006型可以選擇校準(zhǔn)兩種不同的氣體，用戶(hù)是能夠在這兩種氣體之間切換。根據(jù)客戶(hù)的具體情況選擇與氣體接觸的部件的材料，以便可以使用完整范圍的標(biāo)準(zhǔn)過(guò)程氣體來(lái)操作裝置。