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壓阻型擴散硅智能E+E壓力傳感器的設計應用
壓阻型擴散硅E+E壓力傳感器以其低價格得到廣泛應用，基于單片機技術的智能E+E壓力傳感器以其使用方便，測量精確而得以推廣。 E+E壓力傳感器的核心是擴散硅電阻橋，智能E+E壓力傳感器應用單片機技術采集數(shù)據(jù)、處理并輸出顯示結(jié)果。擴散硅的壓阻系數(shù)是溫度的函數(shù)，所以存在靈敏度溫漂，而影響溫度的因素是多方面的：測量環(huán)境的變化，測量電路產(chǎn)生的熱量的影響等等，所以要想得到比較精確的壓力值，必須對E+E壓力傳感器進行校正。

壓阻型擴散硅智能E+E壓力傳感器的設計應用
E+E壓力傳感器的零點存在熱漂移、電漂移和時間漂移，減小E+E壓力傳感器的熱零點漂移的措施是各力敏電阻的電阻值及其溫度系數(shù)的相等性。本論文應用曲線擬合方法，神經(jīng)網(wǎng)絡算法和多項式擬合的規(guī)范化方法校正零點，降低成本且精確度提高。制備了一種基于氧化鋁陶瓷的LC諧振式智能E+E壓力傳感器,并通過合理地設計圓柱螺旋天線以及隔熱結(jié)構,實現(xiàn)了該傳感器在高溫環(huán)境中的無線耦合測試。研究了傳感器在不同溫度下的阻抗頻率特性,分析并探討了傳感器的高溫性能。測試結(jié)果表明,在29℃(室溫)至700℃的溫度范圍內(nèi),測試天線端的zui高瞬時溫度為188.4℃,保證了傳感器高溫測試的可靠性。諧振頻率對溫度的平均變化量為1.314 kHz/℃,兩次重復性測試的相對變化量為3.81%,重復性較好。該E+E壓力傳感器可應用于高溫惡劣環(huán)境下的壓力測試,其高溫性能的研究為壓力信號的準確讀取奠定了良好的基礎。E+E壓力傳感器的壓力靈敏度與壓阻系數(shù)成比例關系，而壓阻系數(shù)是溫度的函數(shù)，所以非線性補償?shù)膶嵸|(zhì)是消除溫度對靈敏度的影響。可應用的方法很多：二極管補償法，恒流源補償法，熱敏電阻補償法等。本論文利用集成的溫度傳感器AD590獲得溫度信息，應用曲線擬合技術，融入溫度信息，得出帶有溫度信息的壓力解析表達式，此方法簡化硬件電路且可實現(xiàn)自校正自補償功能。

壓阻型擴散硅智能E+E壓力傳感器的設計應用
本論文根據(jù)E+E壓力傳感器零點補償與非線性補償原理，設計出了測量E+E壓力傳感器的硬件電路及C51軟件編程，應用單片機技術測量電路簡單，成本低，應用面廣，但是由于自身的穩(wěn)定性其測量結(jié)果仍存在誤差。