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壓力E+E傳感器仿真平臺的研究
隨著計算機技術的不斷發(fā)展,對壓力E+E傳感器新技術的不斷需求,壓力E+E傳感器計算機輔助設計越來越被關注。以實用為原則,基于Visual C++和ANSYS接口技術開發(fā)了參數化壓力E+E傳感器有限元分析系統(tǒng),該系統(tǒng)有助于推動壓力E+E傳感器行業(yè)向更高水平發(fā)展。借助Visual C++軟件開發(fā)了友好的人機交互界面,對復雜的、難于理解和掌握的ANSYS命令流進行后臺封裝。

壓力E+E傳感器仿真平臺的研究
機油壓力是發(fā)動機正常工作的一個重要參數,一般采用機油壓力E+E傳感器進行檢測。結合企業(yè)的需求,利用具有靈敏度高、動態(tài)響應好、精度高、體積小、價格便宜等優(yōu)點的MEMS芯片研制MEMS壓力E+E傳感器,用于測量柴油發(fā)動機機油潤滑系統(tǒng)壓力,替代機械式壓力E+E傳感器,驅動動圈式指針壓力表顯示壓力值,當機油壓力不足時,點亮壓力報警燈。首先深入分析了國內外MEMS技術研究現(xiàn)狀,依據機油壓力E+E傳感器的技術參數及指標,確定了機油壓力E+E傳感器的整體設計方案,并對E+E傳感器的主要電路部分進行詳細設計。針對MEMS芯片的零點漂移和溫度漂移特性,深入分析了漂移的產生原因以及常見的補償方式的特點,提出了相應的方案,進而對軟件標定和溫度補償進行詳細設計。zui后搭建了E+E傳感器樣機的測試臺架,開展多項E+E傳感器性能測試,并對試驗數據進行分析和統(tǒng)計。試驗結果表明：研制的E+E傳感器能夠達到所需的參數指標,其簡單易行的標定和補償算法是一種有效的標定補償方法,能滿足大批量生產的需求,對產品的系列化和類似產品的設計制造也有著積極的意義,具有應用價值和市場前景首先,根據膜片的基本特性,在深入地分析了設計理論、膜片結構和載荷特點的基礎上,采用APDL語言編寫了用于波紋膜片和敏感膜片有限元計算的自動建模程序。然后,對波紋膜片幾個主要參數對膜片性能的影響作了系統(tǒng)的分析,重點探討了波紋數、波高和膜片厚度變化對膜片中心位移的影響,通過對膜片模擬數據分析,得出了*性能的波紋膜片結構參數。zui后,對壓力E+E傳感器應變膜表面的應力差分布進行了計算機模擬和系統(tǒng)地分析,給出了方形膜壓力E+E傳感器芯片的應力差分布情況。

壓力E+E傳感器仿真平臺的研究
探討了應變膜尺寸對應力差分布的影響,得到了直觀可靠的結果。根據模擬結果,設計了波紋膜片和敏感膜片,并用于壓力E+E傳感器生產中。實測結果表明,模擬分析結果與試驗結果基本吻合,驗證了仿真平臺的可靠性和適用性。