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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
桌面式半導體快速退火爐，RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設備，標配三組工藝氣體，可最大兼容6英寸晶圓Wafer。
桌面式半導體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢
?紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；
?采用快速PID溫控，可精準控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性；
?采用平行氣路進氣方式，氣體進出口設置在晶圓表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證良好的溫度均勻性；
?大氣與真空處理方式均可選擇，實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理。
晟鼎與華南理工大學聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術聯(lián)合實驗室，所有產(chǎn)品系列皆通過CE認證。