勻膠顯影機
SC100-DE勻膠顯影機是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和高的可重復性。
主要性能指標:
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復性< 1rpm
工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圓晶)
標準配置兩路噴液系統(tǒng)(顯影液和去離子水)
產(chǎn)品特性優(yōu)點:
主機在SC100-SE勻膠機上升級,增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋
全程序編輯功能,更方便的智能化操作,更好的顯影/清洗效果
可實現(xiàn)多獨立四路噴液用于顯影/清洗工作,或進行氮氣吹干
控制器可實現(xiàn)程序自動控制噴液或進行手動操作,使用更加方便
顯影系統(tǒng)可進行噴霧式、柱流式多種選擇,視要求進行配置
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計
高可靠性和重復性,高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選
可添加去邊膠和背膠清洗功能
![]() | 產(chǎn)品名稱:便攜式透光儀 產(chǎn)品型號:ETT0681 |
便攜式透光儀型號:ETT0681
簡介:
ETT068便攜式透光儀主要用于測量各種玻璃和透明或半透明材料的可見光透射率。
主要技術(shù)參數(shù)
探頭卡式探頭
光源LED光源
應(yīng)用范圍汽車制造、航空航天、玻璃制品等行業(yè)
測量范圍0~100%
測量顯示%光束透射
被測物厚度≤8mm
測量精度優(yōu)于±2%
靈敏度0.1%
工作電源DC9V×1
環(huán)境溫度5℃~40℃
相對濕度不過85%
統(tǒng)計功能平均值、大值、小值、測量次數(shù)
附件 1.清潔布1塊 2.說明書1份 3.保修卡1張
游離氨檢測儀UPW-545B |