北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）是一家專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、耗材、試劑等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室用品生產(chǎn)的廠家。目前公司主要產(chǎn)品：EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機(jī)、烤膠機(jī)、提拉鍍膜機(jī)、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設(shè)備等。作為一家為科學(xué)研究提供服務(wù)的企業(yè)，無(wú)論您將新建一個(gè)全新的實(shí)驗(yàn)室還是日常的科研工作，泰諾源都能為您提供的產(chǎn)品和滿意的服務(wù)。

柜式半導(dǎo)體噴膠機(jī)SP200-SE

隨著IC產(chǎn)業(yè)工藝的不斷發(fā)展，疊層封裝逐漸成為技術(shù)發(fā)展的主流簡(jiǎn)稱“3D”。硅穿孔（TSV）作為3D封裝的重要工藝，越來(lái)越受到人們的重視，傳統(tǒng)的涂膠方法不能滿足TSV深孔涂膠要求，我公司研發(fā)的納米噴涂技術(shù)，采用進(jìn)口高精度柱塞泵配合超聲波震蕩?kù)F化方式，將光刻膠均勻涂布在溝槽表面。可滿足主流TSV，MEMS，WLP等工藝制程。

柜式半導(dǎo)體噴膠機(jī)SP200-SE噴膠機(jī)

• 熱盤加熱及旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)         
• XY雙電缸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)
• 膠液微流量平流傳輸系統(tǒng)
• 超聲波霧化噴涂系統(tǒng)
• 圓晶真空吸附和頂升系統(tǒng)
• 高級(jí)PLC控制和觸屏操作
• 排廢和抽風(fēng)系統(tǒng)                      

SP200-SE噴膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)                SP200-SE

Wafer尺寸           200mm以下，向下兼容

熱盤溫度           室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，溫度均勻性小于±1%

熱盤電機(jī)額定轉(zhuǎn)速    1000rpm

XY移動(dòng)zui大速度      X 軸500mm/sec，Y 軸250mm/sec

Pump流速范圍        1ml/min-20ml/min可調(diào)

操作系統(tǒng)           人機(jī)互動(dòng)界面PLC控制

噴嘴移動(dòng)方式       電動(dòng)機(jī)械組合XY電缸

電源               AC220V，50HZ，1.5KW 

機(jī)器尺寸            800＊600＊1800

重量              55Kg

工作環(huán)境            濕度：20-90%，溫度20-30℃

SP200-SE噴膠機(jī)主要配置

高精度伺服馬達(dá)              1   臺(tái)

XY軸電缸                    1   SMC

高精度柱塞泵                2   雙泵平流傳輸

超聲波發(fā)生器＋霧化噴頭      1   套      霧化顆粒40微米以下

7寸全彩觸屏                 1   只      威綸

特殊設(shè)計(jì)的熱盤系統(tǒng)          1   套

高效真空和頂升系統(tǒng)          1   套

SP200-SE噴膠機(jī)工藝指標(biāo)

噴膠工藝通常的兩種情形和要求

1、AZ5620 （紅膠）配比丙酮，體積比 1:10，噴涂工藝為單臺(tái)階圖形。噴涂后一般要求頂部厚度14um左右，底部10um左右，拐角厚度大于4um。

2、另外一種是綠膠，工藝名稱為WLP32，膠的配比是用LSF60配比丙酮而成，通常配比比例為1:8，噴的工藝是雙臺(tái)階圖形。綠膠一般頂部要求在15um左右，拐角大于5um，底部12um左右。

設(shè)備測(cè)試情況

噴樣情況（雙臺(tái)階圖形）

噴樣情況（單臺(tái)階圖形）

SP200-SE噴膠機(jī)優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)

★使用高精度微流量耐腐蝕柱塞泵，采用雙泵平流的方式進(jìn)行液體傳輸。精度高、重復(fù)性好。

★高頻超聲波霧化噴嘴，霧化顆粒均勻，尺寸小于40um。

★高精密控溫系統(tǒng)，控溫范圍：室溫-200℃，控溫精度±0.5℃。

★專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，提供DEMO試機(jī)服務(wù)，24小時(shí)維修響應(yīng)。

★提供定制化和特殊要求設(shè)計(jì)。

北京泰諾鑫源科技有限公司奉行“進(jìn)取 求實(shí) 嚴(yán)謹(jǐn) 團(tuán)結(jié)”的方針，不斷開拓創(chuàng)新，以技術(shù)為核心、視質(zhì)量為生命、奉用戶為上帝，竭誠(chéng)為您提供高性價(jià)比的實(shí)驗(yàn)裝備、分析儀器產(chǎn)品及無(wú)微不至的服務(wù)。如對(duì)產(chǎn)品有疑問(wèn)可直接我公司相關(guān)客服人員！

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售后服務(wù)：

本著“為顧客提供zui滿意的產(chǎn)品和服務(wù)”的經(jīng)營(yíng)宗旨，我司鄭重承諾：在確保設(shè)備的*性、可靠性、穩(wěn)定性的同時(shí)，不斷改進(jìn)服務(wù)質(zhì)量，從售中到售后的交貨、調(diào)試開通、設(shè)備維護(hù)管理、技術(shù)服務(wù)、用戶技術(shù)培訓(xùn)等各方面，保證顧客能得到的服務(wù)，讓顧客滿意、放心。