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原位MEMS-TEM-STM多場測量系統(tǒng)（非定量力+電+光+加熱）是一種革命性的原位透射電子顯微鏡實驗系統(tǒng)，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個可控的多場環(huán)境（包括力，熱，光，電等），從而對材料或者器件等樣品實現(xiàn)多重激勵下的原位表征。

• 光纖指標

△ 多模光纖外徑250um，保證電鏡系統(tǒng)真空指標;

△ 可選光纖探針、平頭光纖;

△ 配備快速SMA接頭、FC接頭。

• 加熱指標

△ 溫度控制范圍：室溫至1000℃；

△ 溫度準確度：優(yōu)于5%；

△ 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1℃。

• 產(chǎn)品特色

△ 可通過簡單更換MEMS芯片種類以及不同STM探針為樣品施加四種激勵，實現(xiàn)多種復(fù)雜的測試功能，完成以往無法實現(xiàn)的研究；

△ 高溫拉伸/壓縮 (加熱芯片+電學STM探針) ;

△ 熱電子發(fā)射/場發(fā)射 (加熱芯片+電學STM探針) ;

△ 三端器件測量 (電學芯片+電學STM探針) ;

△ 電致發(fā)光現(xiàn)象研究 (電學芯片+光學STM探針) ;

△ 光電現(xiàn)象研究 (電學芯片+光學STM探針) ；

△ 穩(wěn)定性高：輕松獲得大幅度運動中的高分辨像，適用于更廣泛的應(yīng)用場景和樣品體系；

△ 超長的壽命：

△ 超低維護成本：設(shè)備配套的針尖制備系統(tǒng)可低成本制備針尖耗材。"爪-球“微動結(jié)構(gòu)已實現(xiàn)模塊化量產(chǎn)，維護成本低；

△ 龐大的用戶群：在國內(nèi)擁有近200個高質(zhì)量原位用戶，出口到歐美澳等地。每年，用戶會產(chǎn)出大量高質(zhì)量研究成果。定期組織各類用戶交流活動，搭建學術(shù)平臺供用戶交流；

△ 成熟的技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)：在安徽、北京、東莞和上海擁有分公司，其他各地擁有若干技術(shù)支持網(wǎng)點，24小時提供技術(shù)支持