Parker派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。

　　Parker派克930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計(jì)，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中閉不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤(rùn)濕部件由特種金屬制成，提供桌越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克的UHP級(jí)不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

　　Parker派克930系列氣動(dòng)閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。

　　Parker派克930系列閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試，以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其性能和穩(wěn)定性。

　 Parker派克930系列UHP半導(dǎo)體隔膜閥市場(chǎng)：

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　　★半導(dǎo)體

　　★分析實(shí)驗(yàn)室

　　★制藥

　　★生物制藥

　　★航空航天

　　★工業(yè)

　　Parker派克930系列UHP半導(dǎo)體隔膜閥特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

　　★電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）

　　★高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕性服務(wù)）

　　★內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留

　　★全壓力范圍使用:從真空到300 psig

　　★內(nèi)部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He

　　★外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He

　　★AOP驅(qū)動(dòng)，額定壓力為75 psig

　　應(yīng)用：

　　★腐蝕性氣體和特種氣體

　　★半導(dǎo)體工具

　　★工具連接

　　★燃?xì)夤?/p>

　　★閥組箱（VMB）

　　Vespel? 是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注冊(cè)商標(biāo)。

　　VeriClean? 是派克漢尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商標(biāo)

　　PEEK? 是威格斯公司（Victrex plc）的商標(biāo)。

　　Parker派克930系列UHP隔膜閥相關(guān)型號(hào)：

　　930AOPLP1NCSFSFM

　　930AOPLP1NCSFSMF

　　930AOPLP1NCSFSMM

　　930AOPLPNOSFSMF

　　930AOPLPNOSFSMM

　　930ISFSMF

　　930ISTSM

　　930KSFSFMM

　　930KSFSMFM

　　930KSFSMMM

　　930LPHYSFSFFH

　　930LPHYSFSFMH

　　930LPHYSFSMFH

　　930LPHYSFSMMH

　　930LPHYSTSH

　　Parker派克930系列半導(dǎo)體隔膜閥