布魯克bruker輪廓儀利用的直接驅動掃描樣品臺，將測量時間加快 40%，同時保持行業(yè)的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載 3D 形貌文件，并更快地應用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫分析。
單拱門結構設計使 布魯克bruker輪廓儀更堅固，從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT 升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量<10nm 臺階高度的更強大的系統(tǒng)。
布魯克的 Vision64 軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面，加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設計。智能架構和可自定義自動化功能相結合，可實現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結果進行分析，還是應用自定義篩選器設置和計算，DektakXT 的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當前分析結果，同時顯示其他可能的分析工具。
DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時消除換針中的任何潛在風險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應用需求。
DektakXT 能夠快速輕松地設置和運行自動化的多樣品測量模式，以可重復性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測試通量來節(jié)省寶貴的時間和金錢。
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