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伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng)，反射式暗場和偏光系統(tǒng)，使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場合。

儀器特性：

l 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺(tái)
l 視場數(shù)∮22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
l 落射光明場、暗場及偏光可快速轉(zhuǎn)換
l 機(jī)架經(jīng)計(jì)算機(jī)《有限元》分析處理，有高穩(wěn)定性及抗振性
l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌，使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性
l 采用人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì)理念，調(diào)焦手輪前置，使之操作舒適。

高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng)，確保儀器在對各試樣檢驗(yàn)時(shí)均能獲得良好的成像質(zhì)量。

無限遠(yuǎn)校正像差長距平場消色差物鏡

MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡

在反射照明光路中，明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換

MA3000配有明場和暗場共用的物鏡，只要拉動(dòng)拉桿，即可明場暗場轉(zhuǎn)換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉(zhuǎn)換，操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系統(tǒng)

MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng)，在整個(gè)視場內(nèi)照明均勻。

MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配套表

		MA3000	MA3020	附注
1	反射式工業(yè)檢驗(yàn)顯微鏡主機(jī)	●		反射式,手動(dòng)轉(zhuǎn)換器,偏光附件
2	透反射式工業(yè)檢驗(yàn)顯微鏡主機(jī)		●	透反射式,手動(dòng)轉(zhuǎn)換器,偏光附件
3	載物臺(tái)	●	●	200X200行程,有快速離合裝置
4	玻璃載物板	●	●	200X200
5	燈箱組	●	●●	12V50W反射光用光源
6	30°傾斜雙目組	●	●
7	五孔手動(dòng)轉(zhuǎn)換器	●	●	兩只裝暗場物鏡的大孔,三個(gè)裝明場物鏡的小孔
8	4×長距平場物鏡	●	●	LPL 4X/0.10 ∞ 工作距離 27.236mm
9	10×長距平場物鏡	●	●	LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm
10	20×長距平場物鏡	●	●	LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm
11	40×長距平場物鏡	●	●	LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm
12	50×長距平場物鏡	●	●	LPL 50X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm
13	80×長距平場物鏡	●	●	LPL 80X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm
14	10X長距平場暗場物鏡	●	●	D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm
15	20X長距平場暗場物鏡	●	●	D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm
16	40X長距平場暗場物鏡	●	●	D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm
17	50X長距平場暗場物鏡	●	●	D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm
18	80X長距平場暗場物鏡	●	●	D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm
19	4X平場物鏡		●	PL 4X/0.10 ∞/0.17
20	10X平場物鏡		●	PL 10X/0.25 ∞/0.17
21	20X平場物鏡		●	PL 20X/0.66 ∞/0.17
22	40X平場物鏡		●	PL 4X/0.10 ∞/0.17
23	100X平場物鏡		●	PL 100X/1.25oil ∞/0.17
24	10×大視野目鏡	●●	●●	WF10×-22
25	16×大視野目鏡	○○	○○	WF16×-16
26	黃、綠、蘭、中性濾色片	●	●	各一
27	毛玻璃片	●	●
28	35mm攝影接筒	●	●
29	2.5X攝影負(fù)目鏡	●	●
30	CCD攝像機(jī)接頭	●	●	顯微鏡與DV02或視頻攝像機(jī)聯(lián)接用