目鏡

WF10X/24，視場(chǎng)直徑 24mm，獨(dú)立矯正色差

雙目頭

瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm

上主體

分光比為50:50或0:100

管鏡

1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS

轉(zhuǎn)換器

4孔，中心可調(diào)

物鏡

長(zhǎng)工作距離或超長(zhǎng)工作距離; 無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差; 齊焦距離: 95mm;

連接螺紋: M26X1/36"(0.706); 齊焦機(jī)構(gòu)(可選)

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

調(diào)焦行程: 52mm; 粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn); 微動(dòng)手輪 1μm/格; 

zui大承載重量: 45磅(20.4Kg)

照明系統(tǒng)

同軸垂直照明，可變孔徑光欄( 0.8~ 6)

冷光源

輸入電壓: 110V或220V; 150W/21V; 鹵素?zé)暨b控器(可選)

移動(dòng)載物臺(tái)

XY行程: 75X50mm

人機(jī)工程頭部

轉(zhuǎn)動(dòng)范圍3 -30

名稱

PSM-1000

PSM-1000S

PSM-1000E

數(shù)量

目鏡WF10X/24(含護(hù)眼罩)

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●

●

2

目鏡WF15X/16

○

○

○

2

目鏡WF20X/12

○

○

○

2

鉸鏈?zhǔn)诫p目

●

●

1

鉸鏈?zhǔn)诫p目

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1

上主體組

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●

1

上主體組

●

1

下主體組

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1

下主體組

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1

四孔轉(zhuǎn)換器組

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●

●

1

調(diào)焦組

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●

●

1

底座組

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1

工業(yè)顯微鏡移動(dòng)式載物臺(tái)

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●

●

1

長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡*

ELWD2X

○

○

○

1

ELWD5X

○

○

○

1

ELWD10X

○

○

○

1

ELWD20X

○

○

○

1

ELWD50X

○

○

○

1

ELWD100X

○

○

○

1

超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡*

ULWD50X

○

○

○

1

ULWD100X

○

○

○

1

可調(diào)焦長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡*

ELWD2X

○

○

○

1

ELWD5X

○

○

○

1

ELWD10X

○

○

○

1

ELWD20X

○

○

○

1

ELWD50X

○

○

○

1

ELWD100X

○

○

○

1

可調(diào)焦超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡*

ULWD50X

○

○

○

1

ULWD100X

○

○

○

1

0.5X攝像接筒組

○

○

○

1

0.4X攝像接筒組

○

○

○

1

1X攝像接筒組

○

○

○

1

MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套軟件

○

○

○

1

檢偏插片

○

○

○

1

起偏插片

○

1

起偏插片（可旋轉(zhuǎn)）

○

○

1

中間插片（可旋轉(zhuǎn)）

○

○

1

調(diào)中鑰匙

●

●

●

2

墊圈

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●

●

2

十字槽盤頭螺釘 M3X10

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●

●

3

轉(zhuǎn)接環(huán)

○

○

○

1~4

使用手冊(cè)（中文，PSM1000機(jī)）

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●

●

1

保修卡

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●

1

物鏡顏色標(biāo)貼（含灰、紅、黃、綠、藍(lán)、白）

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●

1套

合格證

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●

1

工業(yè)顯微鏡光纖

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○

○

1

工業(yè)顯微鏡光纖

○

○

○

1

MITUTOYO光纖接頭

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○

○

1

MLC-150C冷光源    

○

○

○

1

人機(jī)工程頭部

PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-　30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。

管鏡

PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。

其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過(guò)率。

光路切換拉桿

通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光*的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。

偏光觀察

主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)zui大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。

轉(zhuǎn)換器

PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。

物鏡

PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。

關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。

數(shù)碼攝像系統(tǒng)

根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

照明系統(tǒng)

采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。

長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。

探測(cè)工作站

PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。

激光裝置

PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補(bǔ)償墊片。

無(wú)需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。