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氣控閥回吸閥一體型半導體制造前工序

以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液，可高精度控制回吸。可防止化學液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象。

可根據(jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計。

氣控閥一體型產(chǎn)品，可削減配管工時并實現(xiàn)緊湊化。

氣控閥回吸閥一體型半導體制造前工序

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