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實驗室光刻機

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實驗室光刻機

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       江蘇雷博科學儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實驗室儀器開發(fā)為目標的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。2020年8月,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來的的工業(yè)半導體設備業(yè)務分拆出來成立了江蘇雷博微電子設備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨立經(jīng)營不同系列產(chǎn)品。公司主營高檔實驗室儀器及半導體設備開發(fā)業(yè)務。公司技術力量雄厚,人才濟濟,憑借雄厚的技術實力不斷進行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實現(xiàn),在納米薄膜制備類儀器領域取得了顯著的市場地位。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術產(chǎn)品,是國內(nèi)勻膠機全系列、多功能、定制化服務的供應商。
       公司生產(chǎn)和銷售不同領域的高檔科研儀器和工業(yè)半導體設備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、烤膠機、提拉機、噴膠機、涂膜機、狹縫涂布機等相關產(chǎn)品;LEBO science®是我們的工業(yè)半導體設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、蝕刻機、去膠機、清洗機等獨立柜式機臺及工業(yè)全自動機臺。
       公司產(chǎn)品被廣泛應用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及先進封裝等領域,具有核心技術可靠、高性價比、定制化服務的競爭優(yōu)勢。 

       公司目前團隊人數(shù)80多人,業(yè)績和規(guī)模處于快速擴展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長,目前正準備二輪融資擴產(chǎn)。公司生產(chǎn)廠房設有裝配潔凈車間及黃光試驗區(qū),其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,辦公及倉儲區(qū)域約1000平方米。

勻膠機,烤膠機,涂膜機,狹縫涂布機,紫外清洗機,電解雙噴儀

  實驗室光刻機產(chǎn)品參數(shù) :
 
  1.曝光面積:160mm*160mm
 
  2.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um
 
  3.對準精度:±1-1.5um
 
  4.光源強度:35mW/cm2
 
  5.UV光源:進口LED模塊
 
  6.曝光中心波長:365nm
 
  7.光源壽命:1萬小時,光源平行性:≤2°
 
  8.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um
 
  9.照度不均勻性:≤3%
 
  10.曝光設定:定時
 
  11.可執(zhí)行曝光模式:真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式
 
  12.間隙設定方式:數(shù)字設定曝光間隙0-1200um
 
  13.可調(diào),可自動分離和消除間隙
 
  14.樣片、掩模版相對移動范圍:X:±5mm,Y:±5mm,0=±6°
 
  15.掩模版找平方式:球氣浮自動找平
 
  16.可支持掩模版尺寸:3"x3"、4"x4"、5"x5"、7"x7"各一件
 
  17.標配承片臺:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
 
  18.標準配件可兼容樣片厚度:0.1-5mm,其他尺寸可定制
 
  19.對準系統(tǒng):光學+CCD,顯微倍數(shù):放大倍率:150倍-720倍可調(diào)
 
  20.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-120mm

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