GEN2000 分子束外延MBE
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號(hào) GEN2000
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 11:05:13
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 307
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1. 產(chǎn)品概述:
GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供的吞吐量、更長(zhǎng)的活動(dòng)周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無(wú)線(xiàn)通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應(yīng)用的理想選擇。
提供業(yè)界低的單片晶圓成本
設(shè)計(jì)使占地面積比同類(lèi) MBE 系統(tǒng)小 40% 至 60%
模塊化架構(gòu)允許多兩個(gè)生長(zhǎng)模塊,從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料
易于維護(hù),可大限度地延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間
集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件
GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供吞吐量、更長(zhǎng)的活動(dòng)周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無(wú)線(xiàn)通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應(yīng)用的理想選擇。