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化工儀器網(wǎng)>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>無掩模光刻機/直寫光刻機>織雀™PL-3D Premium 高精密微3D光刻機

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織雀™PL-3D Premium 高精密微3D光刻機

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高精密微3D光刻

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產品概況

織雀™PL-3D Premium 是托托科技自主研發(fā)的高精密微3D光刻設備, 高光學分辨率可達1μm,支持大50 mm×50 mm×50 mm的加工尺寸,設備還支持對準套刻功能,可在已有結構表面進行多材料的駁接打印,在復雜三維微納結構、高深寬比微納結構以及復合材料三維微納結構制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢,而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需模具直接成型的優(yōu)點

托托科技(蘇州)有限公司是一家注于顯微光學加工和顯微光學檢測域的公司,在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術域中進行了數(shù)年的深入研究和技術積累,其研制和生產的無掩膜紫外光刻機一經問世,就受到了諸多客戶的青睞,在科研和工業(yè)域都有廣泛的應用。例如,在微納加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等;在光電子域,可以用于制作光柵、衍射光學元件等。托托科技致力于設備底層技術的研究和積累,不斷尋求技術的突破,努力為客戶帶來更好的設備和更好的使用體驗,幫助客戶創(chuàng)造更高的價值。

光學精度1μm

打印層厚<5μm

多精度鏡頭切換

支持陶瓷材料

對準套刻4D光刻

2. 應用案例

精密醫(yī)療器械

消費文創(chuàng)

力學超材料

微機械結構

微流道芯片 



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