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織雀™PL-3D 桌面式高精密3D光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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3D光刻光學(xué)精度達(dá)5μm

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

織雀™PL-3D 是托托科技自主研發(fā)的桌面式高精密3D光刻設(shè)備,光學(xué)精度達(dá)5μm。在復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料三維微納結(jié)構(gòu)制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢(shì),而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需掩膜版或模具直接成型的優(yōu)點(diǎn)。

2. 應(yīng)用案例:

精密醫(yī)療器械

消費(fèi)文創(chuàng)

力學(xué)超材料

微機(jī)械結(jié)構(gòu)

微流道芯片

光學(xué)精度5μm

打印層厚<5μm

小料池體積15ml

支持陶瓷材料

光學(xué)實(shí)時(shí)監(jiān)控

3. 公司概況

織雀™PL-3D 是托托科技自主研發(fā)的桌面式高精密3D光刻設(shè)備,光學(xué)精度達(dá)5μm。在復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料三維微納結(jié)構(gòu)制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢(shì),而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需掩膜版或模具直接成型的優(yōu)點(diǎn)。

托托科技(蘇州)有限公司是一家注于顯微光學(xué)加工和顯微光學(xué)檢測(cè)域的公司,在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術(shù)域中進(jìn)行了數(shù)年的深入研究和技術(shù)積累,其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機(jī)一經(jīng)問世,就受到了諸多客戶的青睞,在科研和工業(yè)域都有廣泛的應(yīng)用。例如,在微納加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等;在光電子域,可以用于制作光柵、衍射光學(xué)元件等。托托科技致力于設(shè)備底層技術(shù)的研究和積累,不斷尋求技術(shù)的突破,努力為客戶帶來更好的設(shè)備和更好的使用體驗(yàn),幫助客戶創(chuàng)造更高的價(jià)值。



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