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CPC-F/Fplus CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥,綜合

一、CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品介紹

等離子清洗設(shè)備在材料學(xué),光學(xué),電子學(xué),醫(yī)藥學(xué),環(huán)境學(xué)、生物學(xué)等科研領(lǐng)域,主要用于材料表面進(jìn)行清洗、活化、改性等目的。

CIF推出的新一代等離子體清洗設(shè)備,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡便,性價(jià)比更高,使用成本更低,實(shí)用性更強(qiáng),更容易維護(hù)。        

二、CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn)

u 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20個(gè)配方程序,可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

u PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

u 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì),可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃饣蚧旌蠚獾葰怏w,氣體分配均勻,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。

u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

u 316不銹鋼、石英真空倉可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

u 采用60度傾角操作面板設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

u 上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。

u 內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門運(yùn)輸過程中不易損壞。

u 處理快速高效均勻,無污染,工藝重復(fù)性好。

u 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

u 安全保護(hù),倉門打開,自動(dòng)關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

CPC-F

CPC-Fplus

ICP3

ICP3 plus

艙體尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

H120xΦ270mm  

H120xΦ270mm

艙體容積

3.8L

3.8L

3.8L

3.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

電感耦合

電感耦合

射頻功率

10-300W可調(diào)

10-150W可調(diào)

10-300W可調(diào)

10-150W可調(diào)

氣體控制

雙浮子流量計(jì)

有效處理尺寸

L200xW155mm

產(chǎn)品尺寸

L425xW420xH465mm

包裝尺寸

L560xW545xH730mm

時(shí)間設(shè)定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

氣體穩(wěn)定時(shí)間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

AC220V 50-60Hz






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