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GL6 R&D 納米壓印系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品介紹:

1. 兼容基底尺寸:直徑≤100mm

2. 支持基底材料:硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等                                                                            

3. 納米壓印技術(shù):旋涂膠基底高精度壓印&點(diǎn)膠自動找平壓印、旋涂膠基底壓印、點(diǎn)膠自動找平壓印模式

4. 壓印精度:優(yōu)于10nm                                                                                                        

5. 結(jié)構(gòu)深寬比:優(yōu)于10:1

6. 殘余層控制:可小于10nm   微米級TTV控制精度

7. 紫外固化光源:紫外LED(365nm)面光源,光強(qiáng)>300mW/cm2

8. 自動壓印/自動脫模/自動工作模具復(fù)制/主動找平壓印/模自動點(diǎn)膠:支持

9. 模具基底對位系統(tǒng):手動對位(選配)

10. 上下片方式:手動上下片

二、技術(shù)優(yōu)勢:

隨機(jī)提供全套納米壓印工藝與材料,包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)、微透鏡陣列、勻光片結(jié)構(gòu)等工藝流程,幫助客戶零門檻達(dá)到國際納米壓印水平。











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