VIL1000激光干涉光刻機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 上海納騰儀器有限公司
品牌 其他品牌
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2024/6/17 18:29:17
訪問次數(shù) 1791

產(chǎn)品標(biāo)簽

干涉光刻機(jī)納米圖案生物芯片

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公司介紹 主營產(chǎn)品

上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER)，在掃描探針顯微鏡(SPM)領(lǐng)域有多年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，擁有一支成熟的銷售、技術(shù)團(tuán)隊(duì)，迄今已累計(jì)銷售超過100臺(套)儀器。

展開

掃描探針顯微鏡光學(xué)顯微鏡納米光學(xué)輪廓儀教學(xué)型凝固點(diǎn)測定儀日本原裝桌面式隔振平臺

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VIL1000激光干涉光刻機(jī)

1、可實(shí)現(xiàn)同一晶圓上不同納米結(jié)構(gòu)的分區(qū)光刻；

2、制作各種一維、二維納米圖案；

3、最小線寬低于50nm；

4、與其他同類設(shè)備的功能對比圖如下：

	電子束直寫	激光直寫	紫外光刻機(jī)	激光干涉光刻機(jī)
設(shè)備示例
代表廠商	德國的Raith和Vistec, 日本的JEOL和Elionix	海德堡和Raith	Eulitha	InterLitho
代表性產(chǎn)品型號	Raith EBPG Plus	海德堡 DWL 66+	Eulitha PhableR 100	VIL1000
主要用途	高分辨率掩模版制造和納米結(jié)構(gòu)的制備	對分辨率要求不高的掩模版制造和納米結(jié)構(gòu)制備	分辨率適中的納米結(jié)構(gòu)制備	大面積、低成本、高通量制備高分辨率周期性納米結(jié)構(gòu)，用于微納光學(xué)、生物芯片等新興應(yīng)用
刻寫的最小物理線寬	<10nm	~300nm	60nm	40nm
價(jià)格和維護(hù)成本	高	中	中	較低
自動化程度	全自動	全自動	部分手動	全自動
設(shè)備效率	低	低	高	高
需要掩模	否	否	是	否
特征尺寸調(diào)制難度	難，樣品需要重新刻寫	難，樣品需要重新刻寫	難，需要重新刻寫模板	容易，幾分鐘可實(shí)現(xiàn)