SPE-201P 微波等離子去膠機(jī) ICP RPS
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SPE-201P
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/2/4 13:37:50
- 訪問(wèn)次數(shù) 1790
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達(dá)因特半導(dǎo)體微波等離子去膠機(jī)是一種低壓微波等離子去膠系統(tǒng),應(yīng)用于晶圓光刻膠去膠、晶圓表面活化。自由運(yùn)動(dòng)的電子產(chǎn)生Plasma進(jìn)入腔體所在的料盒進(jìn)行工藝清洗。通過(guò)對(duì)真空腔體壁上的窗口施加頻率為2.45GHz的微波可以產(chǎn)生大量的持續(xù)Plasma。腔體適用于不同尺寸的料盒。微波等離子去膠機(jī)可以提供快速的無(wú)損傷的等離子去膠效果。系統(tǒng)的等離子去膠效果是由被激活的自由基穿過(guò)料盒來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
v 產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。
v 無(wú)電極微波設(shè)計(jì),可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。
v 低溫等離子體,避免對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生熱損傷。
v 電中性等離子體,對(duì)產(chǎn)物無(wú)電破壞。
v 配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,增加Plasma處理均勻度。
v 高效、均勻的微波等離子輸出,保障蝕刻效率。
該廠商的其他產(chǎn)品
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