半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性能。

iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。通常情況下在使用螺桿泵時(shí)，應(yīng)定期的對(duì)螺桿泵進(jìn)行檢查，發(fā)現(xiàn)故障要及時(shí)維修。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分，螺桿泵小修的檢查周期用在6個(gè)月左右，大修的檢查周期應(yīng)在24個(gè)月。根據(jù)螺桿泵運(yùn)行狀況及狀態(tài)監(jiān)測(cè)結(jié)果可適當(dāng)調(diào)整檢修周期。

半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修前準(zhǔn)備在檢修螺桿泵前應(yīng)做好以下準(zhǔn)備工作。

①掌握運(yùn)行情況，備齊必要的圖紙資料。

②備齊檢修工具、量具、配件及材料。

③切斷電源及設(shè)備與系統(tǒng)聯(lián)系，內(nèi)部介質(zhì)冷卻、吹掃、置換干凈，符合安全檢修條件。

螺桿泵的拆卸與檢查

拆卸螺桿泵時(shí)應(yīng)按以下步驟進(jìn)行。

①檢查電動(dòng)機(jī)電源；電源應(yīng)斷開，并將電源開關(guān)上鎖。檢查出、人口閥門關(guān)閉情況，若沒有關(guān)閉，應(yīng)關(guān)緊。

②松開電動(dòng)機(jī)與泵軸之間的聯(lián)軸器的連接螺栓，卸下聯(lián)軸器。

③拆卸檢查同步齒輪。

對(duì)于單螺桿泵或三螺桿泵，拆卸泵后端蓋，檢查墊片、止推墊片、軸承、軸向定位塞。

對(duì)于雙螺桿泵，拆卸泵后端蓋，拆卸檢查軸承及密封。

④拆卸前端蓋，拆卸檢查主、從動(dòng)螺稈及密封。

⑤必要時(shí)更換端蓋與泵體之間墊片。

半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修，超長(zhǎng)保固期。