進口供應??!EBARA 荏原干式真空泵EV-M1205SF
進口供應?。BARA 荏原干式真空泵EV-M1205SF
EV-M 型 干式真空泵是節(jié)能、高負荷工藝的理想選擇 能夠在重負荷下進行處理 兼容高溫控制 節(jié)能 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 在不同頻率下具有相同的性能 (50/60 Hz) 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
荏原 (EBARA) 高溫技術支持高負荷工藝,在半導體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產生反應副產物。 由于其高節(jié)能性能,可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據工藝條件的豐富產品陣容,可以處理各種高負荷工藝。
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