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真空氣氛箱式電爐是一種在真空或特定氣氛環(huán)境下實現高溫熱處理的設備，廣泛應用于材料科學、冶金、化工、電子、新能源等領域。
一、技術優(yōu)勢
1.高純度環(huán)境
真空與氣氛控制可消除雜質污染，適用于半導體材料、光學元件等高純度要求場景。
2.工藝靈活性
支持真空燒結、氣氛保護燒結、熱壓燒結等多種工藝。
可定制爐膛尺寸、加熱方式及氣氛控制系統(tǒng)，適應不同規(guī)模生產需求。
3.節(jié)能高效
雙層爐殼設計結合高效保溫材料，減少熱量損失，降低運行成本。
二、應用場景
1.材料科學
金屬材料：退火、淬火、時效處理，改善組織結構與性能。
陶瓷材料：高強度陶瓷、電子陶瓷的燒結與致密化。
粉末冶金：金屬粉末、復合材料的燒結與成型。
2.半導體與電子
晶圓退火、氧化、擴散等工藝，控制電性能與表面特性。
電子元器件的封裝與熱處理。
3.能源與環(huán)保
太陽能電池材料（如鈣鈦礦）的制備與熱處理。
廢氣處理催化劑的再生與活性恢復。
生物醫(yī)藥
生物樣品的加熱處理、蛋白質結晶實驗，研究生物大分子結構與功能。
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