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半導(dǎo)體工業(yè)的溫度控制解決方案 

系列二：旋轉(zhuǎn)涂膠和光刻系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控

光刻：批量生產(chǎn)微型芯片的關(guān)鍵步驟

光刻技術(shù)：在晶圓上涂覆光刻膠后，使用紫外光照射掩模并進(jìn)行曝光顯影，就可以利用光刻膠的特性，在晶圓上形成所需的微觀圖形。

但是，材料都具有熱脹冷縮的特性，在光刻過程中使用到的光刻掩模版、透鏡和晶圓同樣如此。

例如，即使是輕微的溫度變化，也會引起晶圓結(jié)構(gòu)的改變，從而導(dǎo)致尺寸變化，影響顯影圖形的精度和可重復(fù)性。

旋轉(zhuǎn)涂膠的溫度控制

光刻技術(shù)使用的光敏性光刻膠，其特性與溫度有關(guān)。精確的溫度控制可以使光刻膠的溫度更加均勻，能最大限度地減少涂膠過程中產(chǎn)生的表面缺陷，在光刻技術(shù)中至關(guān)重要。

LAUDA Microcool 和 Variocool 設(shè)備可提供涂膠過程所需的穩(wěn)定溫度，并且均配置了低振動壓縮機(jī)，即使被放置在靠近工藝流程的地方，也不會產(chǎn)生任何負(fù)面影響。

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Lauda 應(yīng)用

液體光刻膠的溫度控制

Lauda 產(chǎn)品

Microcool 循環(huán)冷水機(jī)

Variocool 過程恒溫器

2

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典型產(chǎn)品特征

•     高的溫度穩(wěn)定性

•     內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單，便于維修

•     低振動壓縮機(jī)

•     結(jié)構(gòu)緊湊

工藝氣體/真空的溫度控制

大多數(shù)工藝是在真空環(huán)境或氣體環(huán)境中進(jìn)行，需要對這些區(qū)域的溫度進(jìn)行適當(dāng)控制。例如，通過在不銹鋼管道或外殼上加裝水冷夾套，對其中的氣體進(jìn)行溫度控制。

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Lauda 應(yīng)用

工藝氣體和腔室的溫度控制

Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

Variocool 過程恒溫器

2

3

典型產(chǎn)品特征

•     高的溫度穩(wěn)定性

•     內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單，便于維修

•     低振動壓縮機(jī)

•     結(jié)構(gòu)緊湊。

光刻系統(tǒng)的溫度控制

? 紫外光源的溫度控制

激光束的生成需要大量的能量，同時會生成廢熱，需要進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)?？煽康难h(huán)冷水機(jī)，如 LAUDA Ultracool 設(shè)備，可以有效防止激光模塊過熱。

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Lauda 應(yīng)用

激光發(fā)生器的冷卻

Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

Variocool 過程恒溫器

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? 聚光透鏡和光掩模的溫度控制

透鏡會吸收高功率的激光輻照，導(dǎo)致溫度升高，而光學(xué)元件和反射鏡會在高溫下產(chǎn)生變形，所以必須對其進(jìn)行大幅冷卻以保持恒溫。緊湊型的LAUDA 恒溫設(shè)備可對透鏡的溫度進(jìn)行控制，對精確曝光至關(guān)重要。

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Lauda 應(yīng)用

透鏡 / 反射鏡的冷卻

Lauda 產(chǎn)品

Variocool 過程恒溫器

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? 晶圓工件臺和測量系統(tǒng)的溫度控制

設(shè)備操作和后續(xù)發(fā)熱會影響晶圓工件臺和測量系統(tǒng)的精度，對其進(jìn)行精確的溫度控制，可以避免產(chǎn)生熱膨脹，確保光刻的定位精度始終保持在納米級別。

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Lauda 應(yīng)用

晶圓工件臺的冷卻

Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

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? 真空泵的溫度控制

渦輪分子泵被廣泛用于半導(dǎo)體工藝的很多應(yīng)用中，由旋轉(zhuǎn)葉片組成，這些葉片以高的速度運(yùn)轉(zhuǎn)，以產(chǎn)生高真空。高速運(yùn)轉(zhuǎn)造成的摩擦?xí)a(chǎn)生熱量，如果沒有適當(dāng)?shù)睦鋮s，可能會導(dǎo)致其損壞或性能下降。對真空泵進(jìn)行冷卻有助于將工作溫度保持在規(guī)定的范圍內(nèi)，維持所需的真空度，保證真空泵的工作效率和可靠性。

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Lauda 應(yīng)用

真空泵的冷卻

Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

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了解更多半導(dǎo)體工藝的溫度控制

半導(dǎo)體制造是人類工業(yè)文明中精密程度最高的系統(tǒng)性工程之一，其工藝流程涉及數(shù)百道復(fù)雜工序。從硅晶圓制備、光刻顯影到薄膜沉積、離子注入，從前道工藝到后道工藝，關(guān)注 LAUDA ！和我們一起逐層揭開半導(dǎo)體制造的溫度密碼，解析精準(zhǔn)溫控背后的工程智慧！

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德祥科技

德祥科技有限公司成立于1992年，總部位于中國香港特別行政區(qū)，分別在越南、廣州、上海、北京設(shè)立分公司。主要服務(wù)于大中華區(qū)和亞太地區(qū)——在亞太地區(qū)有27個辦事處和銷售網(wǎng)點，5個維修中心和2個樣機(jī)實驗室。

30多年來，德祥一直深耕于科學(xué)儀器行業(yè)，主營產(chǎn)品有實驗室分析儀器、工業(yè)檢測儀器及過程控制設(shè)備，致力于為新老客戶提供更完善的解決方案。公司業(yè)務(wù)包含儀器代理，維修售后，實驗室咨詢與規(guī)劃，CRO凍干工藝開發(fā)服務(wù)以及自主產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后。與高校、科研院所、政府機(jī)構(gòu)、檢驗機(jī)構(gòu)及企業(yè)保持密切合作，服務(wù)客戶覆蓋制藥、醫(yī)療、商業(yè)實驗室、工業(yè)、環(huán)保、石化、食品飲料和電子等各個行業(yè)及領(lǐng)域。

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